ラピダスの新工場を視察し、小池淳義社長(左から2人目)と話すオランダのスホーフ首相(同3人目)=22日午前、北海道千歳市

 オランダのスホーフ首相が22日、北海道千歳市で次世代半導体の国産化を目指して今月試作ラインを稼働させたラピダスの新工場を視察した。同国企業が半導体の微細化に不可欠な露光装置を納入しており、首相は「両国で協力して技術を高めていくことが世界の役に立つ」と期待感を示した。

 同行したラピダスの小池淳義社長は「オランダの機械がラピダスに重要になっている」と語った。ラピダスは昨年12月、オランダの半導体製造装置大手ASMLから、日本で初めて量産対応の極端紫外線(EUV)露光装置を導入。特殊な紫外線で回路を焼き付ける装置で、世界でもASMLだけが生産している。